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2020电子特种气体行业发展现状及前景分析

半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。

2020电子特种气体行业发展现状及前景分析

电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。

随着电子消费品的升级换代,产品制造尺寸越来越大,产品成品率和缺陷控制越来越严格,整个电子工业界对电子气体气源纯度,以及杜绝输送系统二次污染的要求越来越苛刻。基本上工业界对电子气体气相不纯物以及颗粒度污染提出的技术指标,直接与分析仪器技术进步带来的最低检测极限(LDL)相关联。如传统的激光颗粒测试仪可测到0.1微米,而核凝结技术(CNC)可达到0.01微米。

电子气体的应用领域主要在半导体集成电路生产制造、非晶硅太阳能电池、液晶显示器件、光导纤维生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110 余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。电子特种气体的发展直接带动高新技术产业发展。

近几年来,随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长,电子特种气体的国产化已是大势所趋。目前我国在国产化方面取得可喜进展:国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局,高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束,高纯氯化氢已成功打开国内市场。

电子特种气体行业发展趋势如何?

因为电子工业投资规模越来越大,缩短建设周期,降低建设成本也越来越重要。对电子气体输送系统而言,如何在不降低系统污染控制水平和不牺牲安全配置的前提下,努力减少建设和运行成本,同样是一个挑战。

电子特种气体的研究开发和生产的专业化,有利于技术的改进和提高,有利于成本的降低,是提高电子元器件质量的重要环节。实现真正意义上的规模化生产,增加国内和国际市场份额,为国家进行产业调整结构,建立完整的集成电路、光电子产业链,提高国际竞争力,具有重大意义。

电子特种气体行业报告依据全国及海外多种相关报纸杂志的基础信息等公布和提供的大量资料和数据,客观、多角度地对市场进行了分析研究。报告在总结中国电子特种气体行业发展历程的基础上,结合新时期的各方面因素,对行业的发展趋势给予了细致和审慎的预测论证。未来电子特种气体行业将如何发展?请关注中研普华研究院报告《2020-2025年中国电子特种气体行业市场调查研究与发展战略咨询预测报告》。

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